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请问刻蚀出来的沟槽宽度比预期的窄,是什么原因?
[版面:纳米科技][首篇作者:daydayup2] , 2016年01月05日21:53:50 ,348次阅读,1次回复
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daydayup2
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发信人: daydayup2 (天天向上), 信区: NanoST
标  题: 请问刻蚀出来的沟槽宽度比预期的窄,是什么原因?
发信站: BBS 未名空间站 (Tue Jan  5 21:53:50 2016, 美东)

用尼康i12投影光刻,刻蚀出来的沟槽宽度比预期的窄,请问一般是什么原因?曝光显
影不足吗?先谢了!

--
※ 来源:·WWW 未名空间站 网址:mitbbs.com 移动:在应用商店搜索未名空间·[FROM: 98.]

 
easytool
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发信人: easytool (easytool), 信区: NanoST
标  题: Re: 请问刻蚀出来的沟槽宽度比预期的窄,是什么原因?
发信站: BBS 未名空间站 (Fri Mar 18 22:06:42 2016, 美东)

曝光时间不足,focus 不好, develop 时间不够, 或者photoresist太厚了, 都有可
能。。。。。
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※ 来源:·WWW 未名空间站 网址:mitbbs.com 移动:在应用商店搜索未名空间·[FROM: 132.]

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